Прибор ионно-лучевого травления ИЛТ-050
Оплата
- Безналичный расчет
- Предоплата на банковкую карту
- Оплата с отсрочкой платежа
Доставка
- Деловые Линии;
- ПЭК;
- ЖелДорЭкспедиция;
- КИТ;
- Энергия;
Прибор ионно-лучевого травления ИЛТ-050 представляет собой приставку к вакуумному универсальному посту ВУП-5М (ВУП-5).
Приставка ИЛТ-050 предназначена для осуществления операций, связанных с распылением и травлением материалов в вакууме ионным пучком с целью исследования полученных поверхностей и материалов (методами растровой и просвечивающей электронной микроскопии и другими).
Приставка может быть использована в лабораториях при исследованиях по физике твердого тела, микроэлектронике для получения новых материалов, а также применима при выполнении отдельных технологических операций.
Приставка предназначена для эксплуатации в стационарных условиях при температуре окружающего воздуха от 15 до 25 С и относительной влажности не более 80 %.
Приставка относится к исполнению УХЛ категории 4.2 по ГОСТ 15180-69.
Конструктивные особенности
- Диапазон рабочего давления в объеме при работе приставки от 6,0 10-5 до 8 10-4 мм. рт. ст.
- Электрическое питание приставки осуществляется от сети переменного тока напряжением 220 В частотой 50 Гц.
- Потребляемая мощность не более 600 Вт.
- Масса 60 кг.
|
Габаритные размеры, мм, не более: |
|
рабочий объем |
внутренний диаметр |
230 |
модуль источников питания |
длина |
500 |
- Внутренний объем высоковакуумного объема приставки 12 л.
- Максимальное напряжение на выходе высоковольтного блока питания анода не более 8 кВ.
- Максимальное напряжение на выходе высоковольтного блока питания, фокусирующего не более 8 кВ.
- Напряжение блока питания разряда не менее 800В.
- Разрядный ток ионных пушек (50 ± 3) мА.
- Ионный ток на образце от 30 до 600 мкА.